沈陽芯源永遠致力于研發、制造世界先進的半導體生產設備并提供相關服務，永遠追求高水平的產品質量、公司環境和員工職業健康安全。
對產品質量及服務的追求是高水平的而不只是“適合”。
以員工、企業、社會和環境共同持續發展為己任，在活動、產品和服務過程中，堅持“以人為本”和“預防為主”的方針。
