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上海芯源微企業發展有限公司成立于2021年2月，是沈陽芯源微的全資子公司。上海公司發展定位為國內高端半導體專用設備研發高地，占地45畝、建筑面積5.4萬平方米，配套近萬平的高等級潔凈廠房、研發辦公及活動中心，主要開展28nm及以下高端工藝技術節點的集成電路光刻工藝涂膠顯影設備、化學清洗設備及其核心零部件研發及產業化，年產值可達25億、帶動1000人就業。

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